ウエーハ用めっき装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高月猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152985
公開番号（公開出願番号）：特開平5-320978
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】ウエーハをめっきする際にウエーハを下方へ押し付けるための押え手段を、ウエーハの上部空間から排除して、ウエーハに埃や不純物の付着することを防止するものである。【構成】押え手段として、膨張時ウエーハ8の上面周縁13のみを拘束して下方に押接し且つ非膨張時収縮復元してその拘束を解くエヤーバッグ6を採用し、めっき処理時も非処理時もウエーハ8の上部空間を押え手段で占拠しなくてすむものとした。

請求項（抜粋）：

めっき槽の開口部に形成した配置受け部に、押え手段を介してウエーハの下面周縁を押接させ、ウエーハの下面へめっき液を施してめっきするようにしたウエーハ用めっき装置に於いて、上記押え手段が、膨張時ウエーハの上面周縁のみを拘束して下方に押接し且つ非膨張時収縮復元してその拘束を解くエヤーバッグであることを特徴とするウエーハ用めっき装置。

IPC (4件)：

C25D 5/08 , C25D 7/12 , H01L 21/288 , H01L 21/321

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-140494
特開平3-140494
特開平1-195025

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