特許
J-GLOBAL ID：200903076710160122
回折格子プロッター
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142978
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335026
出願日： 1995年06月09日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】小型・軽量であり、簡便な構成の回折格子プロッターの提供。【構成】分岐された2本のレーザービームを乾板上で同一位置に交叉させる光学素子が、少なくとも1本のレーザービームを透過回折させる機能を有する回折光学素子であると共に、光分岐手段と前記素子が1つのユニット内に収められており、ユニット全体が、制御手段によって、乾板が載置されたX-Yステージに垂直な軸を中心に回動される構成の回折格子プロッター。
請求項（抜粋）：
(a)感光材料を塗布した乾板が載置され、回折格子の配置データに基づいて当該乾板を移動させるX-Yステージと、(b)レーザービームを発生するレーザー光源と、(c)レーザー光源からのレーザービームを受け、その開閉によって露光・非露光を制御するシャッターと、(d)シャッターを通過したレーザービームを2本に分岐する光分岐手段と、(e)光分岐手段からの2本のレーザービームを前記乾板上で同一位置に入射させる光学素子と、(f)X-Yステージの移動およびシャッターの開閉をそれぞれ制御する制御手段、などを備え、レーザービームの2光束干渉によって、略ドット状の回折格子を乾板表面に露光作製し、所望に配置する回折格子プロッターにおいて、光学素子(e)が、分岐された少なくとも1本のレーザービームを透過回折させる機能を有する回折光学素子であると共に、上記(d)(e)が1つのユニット内に収められており、前記ユニット全体が、制御手段(f)によって、X-Yステージ(a)に垂直な軸を中心に回動される構成であることを特徴とする回折格子プロッター。
引用特許：
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