ウェーハの研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042640
公開番号（公開出願番号）：特開平8-229807
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：

【要約】【目的】ノズルから吐出する噴流をウェーハの周縁部に好適に当て、ウェーハを保持部材の表面から短時間で且つ安定的に剥離すること。【構成】表面にウェーハ20を液体の表面張力によって保持する保持部材10と、保持部材10の表面に装着され、ウェーハ20の滑り移動を防止するテンプレート16とを備えるウェーハの保持部にウェーハ20を保持し、定盤の研磨面にウェーハ表面を当接させ、ウェーハ20に所定の荷重を与えつつ、ウェーハ20と定盤とを相対的に運動させてウェーハ表面を鏡面研磨するウェーハの研磨装置において、保持部材の表面からウェーハ20を剥離させるべく、ウェーハ20の周縁部に液体を噴出するノズル22と、テンプレート16にノズル22からの噴流を通過させる切り欠き部18とを設けた。

請求項（抜粋）：

表面にウェーハを水等の液体の表面張力によって保持する保持部材と、該保持部材の表面に装着され、ウェーハの周囲を取り囲んで該ウェーハの滑り移動を防止するテンプレートとを備えるウェーハの保持部にウェーハを保持し、定盤の研磨面にウェーハ表面を当接させ、該ウェーハに所定の荷重を与えつつ、ウェーハと定盤とを相対的に運動させてウェーハ表面を鏡面研磨するウェーハの研磨装置において、前記保持部材の表面からウェーハを剥離させるべく、ウェーハの周縁部に液体を噴出するノズルと、前記テンプレートに前記ノズルからの噴流を通過させる切り欠き部とを設けたことを特徴とするウェーハの研磨装置。

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-230866
特開平4-146621
特開平4-334024

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審査官引用 (11件)

特開昭61-230866
特開昭61-230866
特開平4-146621

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