特許

J-GLOBAL ID：200903076800204862

基板収納容器

発明者： 益子 秀洋 ,  鎌田 俊行 ,  谷口 敦
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-338907
公開番号（公開出願番号）：特開2008-150066
出願日： 2006年12月15日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：

【課題】容器本体内の汚染防止を図ると共に、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化を図った基板収納容器を提供すること。【解決手段】蓋体4を容器本体2に係合させる係合手段6を、容器本体2の外面に露出させる。これにより、係合手段6を蓋体4に内蔵する必要性がないので、蓋体4内に汚染物が溜まることがなく、汚染物が容器本体2内に侵入する虞がなくなる。このため、容器本体2内の汚染を防止することができる。また、係合手段6が外面に露出しているので、係合手段6の点検、補修、洗浄が容易となる。また、蓋体4に係合手段6を内蔵する必要がないので、係合手段6を収容する空間を設ける必要がなく、蓋体4の薄型化を図ることがきる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

開口部を有し基板を収納する容器本体と、前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記蓋体を前記容器本体に係合させる係合手段とを備える基板収納容器において、 前記係合手段は、前記容器本体の外面側に露出されていることを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

B65D 85/86 ,  H01L 21/673

FI (2件)：

B65D85/38 R ,  H01L21/68 T

Fターム (32件)：

3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB05 ,  3E096CA03 ,  3E096CA05 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA11 ,  3E096DA17 ,  3E096DB01 ,  3E096DB08 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA19 ,  3E096FA23 ,  3E096FA26 ,  3E096FA40 ,  3E096GA05 ,  3E096GA14 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031EA20 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特表平4-505234号公報
  
• 独立して支持されたウェーハ・カセットを包含するSMIFポッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-547816   出願人：アシストテクノロジーズインコーポレイテッド
• クリーンボックスの蓋ラッチ機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227118   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 基板収納容器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-108825   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
• クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-124167   出願人：ティーディーケイ株式会社

審査官引用 (3件)

• クリーンボックスの蓋ラッチ機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227118   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 基板収納容器及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-108825   出願人：信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
• クリーンボックス、クリーン搬送方法及びシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-124167   出願人：ティーディーケイ株式会社