ミラー

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276909
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194206
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】ミラーの熱膨張による影響を小さくおさえて反射率の高い、光学的に優れたミラーを提供する。ミラーを軽量化して、駆動系の振動等の影響も起きない、実用的に優れたミラーを提供する。【解決手段】表面における平均ボイド径が2μm以下で、表面粗さがRa0.015μm以下で290GPa以上のヤング率を有するセラミックスで基体を構成するとともに、該基体表面にアルミニウムまたは銀からなる平均膜厚0.5〜2μmの反射膜を形成してXYステージに固定するためのミラーを構成する。

請求項（抜粋）：

表面における平均ボイド径が2μm以下で、表面粗さがRa0.015μm以下で、290GPa以上のヤング率を有するセラミックスで基体を構成するとともに、該基体表面にアルミニウム、銀等の金属からなる平均膜厚0.5〜2μmの反射膜を形成したことを特徴とするXYステージ上に固定するためのミラー。

IPC (3件)：

G02B 5/08 , C04B 41/88 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 5/08 A , C04B 41/88 Z , H01L 21/30 520 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

レーザ反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-219650 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-257102

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