特許
J-GLOBAL ID：200903076930852513

一方向性珪素鋼板およびその製造方法ならびにセラミック被膜の被覆装置

発明者：
井口 征夫

井口 征夫 について


出願人/特許権者：
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 興作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-366520
公開番号（公開出願番号）：特開2004-197154
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】長期間にわたり、セラミック被膜の変色はもとより、耐食性や磁気特性の経時劣化がない超低鉄損一方向性珪素鋼板を提供する。【解決手段】セラミック被膜を有する一方向性珪素鋼板において、該珪素鋼板の地鉄表層部、地鉄とセラミック被膜の界面およびセラミック被膜中からCl成分を完全に除去するため、セラミック被膜をTiN,TiCまたはTi(CN)とする。CVD法で被膜する場合には、CVD処理後、真空中にて850〜1200°Cの温度でベーキング処理を施す。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
セラミック被膜を有する一方向性珪素鋼板において、該珪素鋼板の地鉄表層部、地鉄とセラミック被膜の界面およびセラミック被膜中にCl成分がないことを特徴とする一方向性珪素鋼板。
IPC (3件)：
C21D9/46 ,  C23C16/34 ,  H01F1/16
FI (3件)：
C21D9/46 501B ,  C23C16/34 ,  H01F1/16 B
Fターム (21件)：
4K030BA18 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030CA02 ,  4K030CA17 ,  4K030DA08 ,  4K030HA03 ,  4K030JA05 ,  4K030JA10 ,  4K030JA20 ,  4K033AA02 ,  4K033PA01 ,  4K033PA04 ,  4K033RA04 ,  4K033TA03 ,  4K033UA04 ,  5E041AA02 ,  5E041BC01 ,  5E041HB11 ,  5E041HB14
引用特許：
審査官引用 (4件)
  • 特公昭63-032850
  • メタルプラグの形成方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-092388   出願人：ソニー株式会社
  • 薄膜形成方法及びその装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-355686   出願人：東京エレクトロン株式会社, 富士通株式会社
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM