特許
J-GLOBAL ID：200903076944170148
試料を保持するロボットアーム端部エフェクタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-585915
公開番号（公開出願番号）：特表2002-531942
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：
【要約】本発明ロボットアーム(16)の端部エフェクタ(10、110、210)はウエハカセット(14)と、処理ステーションとの間に、半導体ウエハ(12)を迅速に、手ぎわ良く移送する。この端部エフェクタは基端静止パッド(26、126)、及び末端静止パッド(24、124)を有し、この末端静止パッドはパッド部(32、132)、及び後部止め部(34、134)を有する。ウエハの周端縁接触により、又はウエハの周端縁から内方に延在する環状特別帯域(30)内で、パッド部、及び後部止め部はウエハを支持し、把持する。作用接触点(50、150、222)は真空作用ピストン(52、152)によって、後退ウエハ積載位置と、突出位置との間に移動することができ、この作用接触点によって、ウエハを末端静止パッドに押圧し、ウエハをその端縁で、又は上記の特別帯域内で把持する。更に端部エフェクタは種々のウエハの表面、端縁、厚さ、傾き角、及び位置のパラメータを決定するため、光ファイバの光透過センサ(90、102、202、214)を有する。ウエハカセット内に保管された堆積する密接離間するウエハの中から、1個のウエハを迅速、正確に設置し、取り出す方法をサポートするデータであるロボットアームの突出、及び高さ位置決めデータを上記センサは提供する。ウエハをその端縁で、又はその特別帯域内で手ぎわよく、確実に把持する間、この方法は端部エフェクタと、ウエハとの間の予期しない接触を防止する。
請求項（抜粋）：
機構に作動可能に結合するよう構成され、試料をその周端縁によって把持する試料周端縁把持装置において、 基端と、これに対向する末端とを有する本体と、 試料の周端縁を支持するパッド部と、前記試料の周端縁を把持するため前記パッド部と共に包括角を形成する後部止め部とを有し、前記本体の前記末端に取り付けられた末端静止パッドと、 前記試料の周端縁を支持するため、前記本体の前記基端に連結された基端静止パッドと、 後退試料積載位置と、試料の寸法によって定まる突出試料把持位置との間に移動可能な基端作用接触点とを具え、 前記後退試料積載位置では、前記本体上に前記試料を設置するための十分な間隙を生じており、前記突出試料把持位置では、前記末端静止パッドに形成された前記包括角内に前記試料の周端縁を押圧していることを特徴とする試料周端縁把持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 S
, H01L 21/68 A
, B25J 15/08 U
, B65G 49/07 F
3C007AS01
, 3C007AS24
, 3C007CY13
, 3C007CY27
, 3C007DS02
, 3C007DS03
, 3C007ES17
, 3C007EV05
, 3C007EV22
, 3C007HS13
, 3C007KS03
, 3C007KS30
, 3C007KV12
, 3C007MT04
, 3C007NS09
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031GA15
, 5F031GA32
, 5F031GA43
, 5F031GA44
, 5F031LA07
, 5F031LA13
, 5F031PA26
