感光性樹脂組成物、シリカ系被膜の形成方法、及びシリカ系被膜を備える装置及び部材

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 清水義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-025501
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186677
出願日： 2008年02月05日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

【課題】層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ形成されるシリカ系被膜がクラック耐性、耐熱性及び解像性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(b)成分:上記(a)成分が溶解する溶媒と、(c)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと、(d)成分:微粒子と、を含有し、上記(a)成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として5〜80質量%であり、上記(d)成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として5〜50質量%である、感光性樹脂組成物。 [式(1)中、R1は有機基を示し、Aは2価の有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のXは同一でも異なっていてもよい。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、 (b)成分:前記(a)成分が溶解する溶媒と、 (c)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと、 (d)成分:微粒子と、を含有し、前記(a)成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として5〜80質量%であり、前記(d)成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として5〜50質量%である、感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 , G03F 7/023 , G03F 7/004 , C08G 77/20

FI (4件)：

G03F7/075 521 , G03F7/023 , G03F7/004 501 , C08G77/20

Fターム (47件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB33 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 2H025CC08 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 4J246AA03 , 4J246AB06 , 4J246AB07 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA25X , 4J246CA250 , 4J246CA40X , 4J246CA400 , 4J246CA63X , 4J246CA630 , 4J246CA64X , 4J246CA640 , 4J246CA65X , 4J246CA650 , 4J246FA071 , 4J246FA081 , 4J246FA131 , 4J246FB031 , 4J246FB041 , 4J246FB051 , 4J246FB081 , 4J246FB091 , 4J246GC02 , 4J246GC12 , 4J246GC26 , 4J246HA15

引用特許：

出願人引用 (2件)

感光性ポリシラザン組成物及びパタ-ン化されたポリシラザン膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-283106 出願人：東燃株式会社
液晶表示素子の層間絶縁膜を形成するための感放射線性組成物、それから形成された層間絶縁膜、および液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274809 出願人：JSR株式会社

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