特許
J-GLOBAL ID：200903076962228358

電子線照射装置

発明者：
木下 忍

木下 忍 について


出願人/特許権者：
岩崎電気株式会社

岩崎電気株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-053690
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222500
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、電子線を酸素を含んだ雰囲気中で照射する際に発生するオゾンを分解するオゾン分解処理装置を具備することにより、装置のランニングコストの低減、装置の長寿命化が可能で、環境汚染等の恐れがない電子線照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 酸素と窒素を含んだ雰囲気中で被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記雰囲気中の水分量を低減させるための乾燥装置を通したガスを照射室に供給してなり、かつ照射室内で生成した排気ガス中のオゾンを分解処理する装置を具備して構成する。
請求項（抜粋）：
酸素と窒素を含んだ雰囲気中で被照射物に電子線を照射する電子線照射装置において、前記雰囲気中の水分量を低減させるための乾燥装置を通したガスを照射室に供給してなり、かつ照射室内で生成した排気ガス中のオゾンを分解処理する装置を具備してなる電子線照射装置。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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