液晶表示装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068953
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】スペーサー材を散布する場合にスペーサー材の凝集及び駆動系からのゴミを低減する。【解決手段】散布チャンバー1の底部に振動子A2及び振動子B2′を設けて上部の振動板5により、スペーサー材を浮上させる。又同時にスペーサー材は供給ノズル6から吐出するイオン化チッソにより常時帯電させる。こうした条件下で基板の処理面を下向きにして散布することで、スペーサー材の凝集を防ぎかつ駆動系からのゴミの落下が少ない液晶表示装置を作ることができる。又、下側から上側へ散布する為にスペーサー材の使用効率が極めて高い。さらに散布チャンバーの容積が小さい為に清掃に要する時間を短縮できる。

請求項（抜粋）：

基板の配向膜上にスペーサー材を散布する液晶表示装置の製造方法において、前記スペーサー材及び基板を帯電させる工程と、帯電した前記スペーサー材を振動により散布する工程とを有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-097224
スペーサ散布方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-213704 出願人：日本電気株式会社
特開平1-225919

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