特許
J-GLOBAL ID：200903076978925334
パネル位置合わせ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
粟野 重孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222706
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078029
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ用のマークの精度が不十分でも位置合わせの精度を高くできる位置合わせ装置を提供する。【構成】 パネル2とパネル3とにそれぞれ位置合わせ用のマークを3個以上設け、視覚認識カメラ1と視覚認識部9とからなる位置認識手段により、相対するパネル2とパネル3の位置決め前における各マークの位置のデータを求め、送り量演算手段10により、対応する各マークを丁度重ね合わせるために必要なパネル2とパネル3との相対変位を、各マークの位置データから求め、そのときに各マーク間の誤差の自乗和が最小となるように相対変位を決定する。この相対変位を位置決めテーブル8によりパネル3に与えて位置合わせする。
請求項（抜粋）：
1枚当り3個以上の位置合わせ用のマークを備えたパネルについて、相対する2枚のパネルの各マークを認識して位置データを出力する位置認識手段と、対応するマークをそれぞれ重ね合わせるために必要なパネル間の相対変位を前記位置データにより求め、対応するマーク間の誤差の自乗和が最小となるように演算して決定する相対変位演算手段と、2枚のパネル間に前記相対変位を与える位置決め手段とを備えたパネル位置合わせ装置。
IPC (3件)：
G05D 3/12
, G05B 19/19
, H01L 21/68
