非接触位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-591377
公開番号（公開出願番号）：特表2003-524766
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】表面に対して作用、試験もしくは検査を行なう装置(1)を動作対象表面(2)に対して位置決めするための非接触装置。その構成は表面から距離を離して置くことができるベース板(4)と、装置(1)とベース板(4)に固定する手段(5)と、3個以上のレーザ(7)応用のレンジファインダ(6)とで成り、レンジファインダ(6)はベース板(4)上に間隔をとったアレイ(6d)として配設されている。この装置には変換手段があって、レンジファインダによる測定値から、並進と回転に必要なベクトルを算出して、精密位置決めに必要な諸量を得て、位置決めをする。

請求項（抜粋）：

表面作用、試験もしくは検査デバイスを、作用、試験もしくは検査の対象である表面に対して、所望の位置と配向とをもつように位置決めするための非接触装置であって、この表面から距離をとった位置に置くことができるベース板と、ベース板上に表面作用、試験もしくは検査デバイスをマウントするための手段と、ベース板上に間隔をとったアレイとして取外し可能にマウントされた3以上のレンジファインダユニットであって該表面上に電磁波のビームを照射するためのソースを有するものと、照射された電磁波の作像し、またそれぞれのソース上の基準点から表面ビーム照射に対応する点までの距離測定値を計算するための検出器とを含む装置であり、さらにこの装置は前記各レンジファインダ距離測定値を基準となる共通ベース板座標フレームに変換するための変換手段と、該距離測定値を受領して処理し、そこからベース板に対する該表面の第1の配向と位置とを設定し、もってマウントされている場合の表面作用、試験もしくは検査デバイスに対する該表面の第1の配向と位置とを設定するためのプロセッサと、マウントされている場合に該表面に対する所望の位置と配向で該ベース板と表面作用、試験もしくは検査デバイスとを位置決めするため該プロセッサと関係して動作するインデックス用手段とを含む非接触装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01S 17/46

FI (2件)：

G01B 11/00 A , G01S 17/46

Fターム (16件)：

2F065AA03 , 2F065FF24 , 2F065GG00 , 2F065HH04 , 2F065JJ02 , 2F065QQ29 , 5J084AA05 , 5J084AB03 , 5J084AC07 , 5J084AD06 , 5J084BA03 , 5J084BA33 , 5J084DA01 , 5J084DA04 , 5J084EA31 , 5J084EA34

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-002902
特開昭64-057103
特開平2-256481

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