特許
J-GLOBAL ID：200903077059834914
微小粒子の作製方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121189
公開番号（公開出願番号）：特開平5-294800
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【構成】中心電極3からの距離の増大とともに強度が減少する交流電界を、荷電粒子に前記の中心電極に向かう力を及ぼす直流電界に重畳させることにより荷電粒子1を所定の領域に捕捉させるとともに、この領域で第2の粒子2を原料として荷電粒子1を成長させる微小粒子の作製方法とその装置。【効果】大きさ、形状等が揃った微小粒子が作製でき、また異種の物質よりなる複合的な構造の微小粒子を得ることができる。
請求項（抜粋）：
所定の領域に荷電粒子を捕捉させるとともに、この領域で第2の粒子を原料として上記荷電粒子を成長させることを特徴とする微小粒子の作製方法。
IPC (3件)：
C30B 30/02
, B01J 19/08
, C30B 29/06 504
