特許
J-GLOBAL ID：200903077092991588
光学定数測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295406
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152307
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 透光性のある基板または透光性のある基板上に形成された薄膜層の光学定数の異方性を高速かつ高精度に測定する。【構成】 1/2波長板2aにより得られた直線偏光光をレンズ3により集光させて透光性のある基板4の表面に入射し、透光性のある基板4からの反射光ビームをレンズ3によりアレイ検出器5に照射するに当って、1/2波長板2aとアレイ検出器5とをそれぞれ回転機構2b,5aにより回転させることにより屈折率の角度依存性を測定し、この屈折率の角度依存性から直接に複屈折性を算出する。
請求項（抜粋）：
透光性のある基板(4)表面に収束し、または発散する直線偏光光を照射し、該直線偏光光の前記透光性のある基板(4)における反射光の前記直線偏光光の偏光の方向と一定の関係を有する方向の光ビーム内光強度分布を、前記偏光の方向が透光性のある基板表面内の方向に対して相対的に変化する複数の条件下において検出し、該複数の条件下において検出された光強度分布に基づいて前記透光性のある基板(4)の光学定数の異方性または前記透光性のある基板(4)表面に形成された薄膜(4a)の光学定数の異方性を測定することを特徴とする光学定数測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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