平面マイクロアクチュエ-タ-

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鎌田秋光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292712
公開番号（公開出願番号）：特開平7-123743
出願日： 1993年10月28日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】スライダ-電極への給電を容易化し、その信頼性を著しく向上させてサブシステムを確実に実現可能な平面マイクロアクチュエ-タ-を提供する。【構成】所要の間隔で対向配置されたステ-タ-間に絶縁流体13を封入し、このステ-タ-間にスライダ-を移動可能に配置した平面マイクロアクチュエ-タ-に於いて、ステ-タ-は給電パス7を備えると共に、スライダ-には給電パス7と電気的に接触する金属バンプ3を設け、スライダ-への給電を給電パス7及び金属バンプ3を介して行うように構成したもの。

請求項（抜粋）：

所要の間隔で対向配置されたステ-タ-間に絶縁流体を封入すると共に、上記ステ-タ-間にスライダ-を移動可能に配置した平面マイクロアクチュエ-タ-に於いて、上記ステ-タ-は給電パスを備え、また、上記スライダ-には上記給電パスと電気的に接触する金属バンプを設け、上記スライダ-への給電を上記給電パス及び金属バンプを介して行うように構成したことを特徴とする平面マイクロアクチュエ-タ-。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-159584
静電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-134397 出願人：松下電工株式会社, 樋口俊郎

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