特許
J-GLOBAL ID：200903077106345161
基板搬送用ロボット
出願人/特許権者：
株式会社安川電機
株式会社安川電機 について
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-239628
公開番号（公開出願番号）：特開2003-179119
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 複数のフォークを有していても、アームを縮めた状態における最小旋回半径が小さく、設置面積を最小にすることができる基板搬送用ロボットを提供する。【解決手段】 固定ベース2と、固定ベース2に旋回可能に連結された第1アーム3と、第1アーム3に旋回可能に連結された第2アーム4と、第2アーム4に旋回可能に連結されたフォークとを有し、フォークを、それぞれ独立した第1フォーク5および第2フォーク6からなる複数のフォークで構成し、第1フォーク5および第2フォーク6を、第2アーム4の先端部に、上下2段に同軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けるとともに、第1フォーク駆動用モータおよび第2フォーク駆動用モータを第2アーム4の内部に設けて構成する。
請求項（抜粋）：
固定ベースと、前記固定ベースに旋回可能に連結された第1アームと、前記第1アームに旋回可能に連結された第2アームと、前記第2アームに旋回可能に連結されたフォークとを有する基板搬送用ロボットにおいて、前記フォークを、それぞれ独立した第1フォークおよび第2フォークからなる複数のフォークで構成し、前記第1フォークおよび第2フォークを、前記第2アームの先端部に、上下2段に同軸で、かつそれぞれ独立して旋回可能に取り付けるとともに、前記第1フォーク駆動用モータおよび前記第2フォーク駆動用モータをロボットのアーム内部に設けたことを特徴とする基板搬送用ロボット。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (15件)：
3C007AS24
, 3C007BT13
, 3C007CT05
, 3C007CV07
, 3C007CW07
, 3C007CY00
, 3C007CY36
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA09
, 5F031GA04
, 5F031GA43
, 5F031LA13
引用特許：
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