特許
J-GLOBAL ID:200903077121163487

非金属材料表面の異常原因判定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-213114
公開番号(公開出願番号):特開2000-046738
出願日: 1998年07月28日
公開日(公表日): 2000年02月18日
要約:
【要約】【課題】 非金属材料表面の異常発生原因を確実かつ迅速に判定する方法と、その装置を提供すること。【解決手段】 非金属材料Sの表面の異常部Fにパルスレーザー光PLの照射位置を固定し、パルスレーザー光PLを前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光PLを照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、異常部Fと正常部に存在する元素およびその濃度の差から、異常部を生じさせた原因を判定する。パルスレーザー光PLを繰り返し照射することにより、非金属材料Sの内部まで堀削できる。
請求項(抜粋):
非金属材料表面の異常部にパルスレーザー光の照射位置を固定し、パルスレーザー光を前記照射位置に照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルと、正常部にパルスレーザー光を照射し、照射部より発生する発光光を分光分析して得られた発光スペクトルとを比較することにより、異常部と正常部に存在する元素およびその発光強度の差から、異常部を生じさせた原因を判定することを特徴とする非金属材料表面の異常原因判定方法。
Fターム (11件):
2G043AA04 ,  2G043CA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA10 ,  2G043FA01 ,  2G043GA04 ,  2G043GA06 ,  2G043GA08 ,  2G043GB08 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09
引用特許:
審査官引用 (7件)
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