特許
J-GLOBAL ID：200903077121282648

検査装置

発明者：
芳賀 一実

芳賀 一実 について


出願人/特許権者：
株式会社ニュークリエイション

株式会社ニュークリエイション について


代理人 (1件)： 落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162848
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005571
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 観測者が観測し易い任意の位置に観測部を設置することができる検査装置を提供することを目的とする。【構成】 光を試料Sに照射する照射光学系3と、試料Sを透過した光または試料Sで反射した光を集束させる光学素子13,14を含み、光学素子13,14の後像空間焦平面またはその近傍に設置した開口絞り16を有する観測光学系2と、開口絞り16を通過した光によって構成される像を観測する観測手段4とを備える検査装置1において、観測光学系2は、開口絞り16の後方に、開口絞り16を通過した光を平行光に変換するテレセントリック光学系17を備え、観測手段4は、テレセントリック光学系17により空中に形成された空中像を観測するように構成した。
請求項（抜粋）：
光を試料に照射する照射光学系と、前記試料を透過した光または前記試料で反射した光を集束させる光学素子を含み、当該光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に設置した開口絞りを有する観測光学系と、前記開口絞りを通過した光によって構成される像を観測する観測手段と、を備える検査装置において、前記観測光学系は、前記開口絞りの後方に、当該開口絞りを通過した光を平行光に変換するテレセントリック光学系を備え、前記観測手段は、前記テレセントリック光学系により空中に形成された空中像を観測するように構成されていることを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00
FI (2件)：
G06F 15/64 D ,  G06F 15/62 400
引用特許：
審査官引用 (4件)
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