特許

J-GLOBAL ID：200903077124697245

磁気的浮上回転処理装置

発明者： 福井 聡 ,  小川 純 ,  山口 貢 ,  岡 徹雄 ,  宮崎 紳介
出願人/特許権者： 国立大学法人 新潟大学 ,  株式会社エムテーシー
代理人 (3件)： 小川 信一 ,  野口 賢照 ,  斎下 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257304
公開番号（公開出願番号）：特開2008-073636
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】被加工物を支持する回転板の回転・停止が容易で、被加工物の両面処理できる装置を提供する。【解決手段】円環状の回転板1と、該回転板1の下方に配置され、該回転板を磁気浮上させるための環状に配置された超伝導体6を有し、前記回転板1の下面には前記超伝導体6に対応して配置された浮上用永久磁石1cと、更に、前記回転板1に設けた浮上用永久磁石1cの外周側に回転用の永久磁石あるいは強磁性鋼板1a,1bと、該永久磁石に対応して回転磁界コイル4Aを配置し、前記回転板1の永久磁石あるいは強磁性鋼板1a,1bと、前記回転磁界コイル4Aとによって前記回転板1を非接触状態で回転駆動するように構成した磁気浮上回転処理装置。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

円環状の回転板と、該回転板の下方に配置され、該回転板を磁気浮上させるための環状に配置された超伝導体を有し、前記回転板の下面には前記超伝導体に対応して配置された浮上用永久磁石と、更に、前記回転板に設けた浮上用永久磁石の外周側に回転用の永久磁石、強磁性鋼板と、該永久磁石、強磁性鋼板に対応して回転磁界コイルを配置し、前記回転板の永久磁石、強磁性鋼板と前記回転磁界コイルとによって前記回転板を非接触状態で回転駆動するように構成したことを特徴とする磁気浮上回転処理装置。

IPC (7件)：

B05C 13/02 ,  F16C 32/04 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/306

FI (7件)：

B05C13/02 ,  F16C32/04 Z ,  G03F1/08 L ,  H01L21/30 569C ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/68 N ,  H01L21/306 K

Fターム (29件)：

2H095BB15 ,  3J102AA01 ,  3J102BA02 ,  3J102BA18 ,  3J102CA20 ,  3J102DA11 ,  3J102DA22 ,  4F042AA07 ,  4F042DF10 ,  4F042DF28 ,  4F042DF32 ,  4F042EB09 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA09 ,  5F031HA12 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031KA03 ,  5F031LA04 ,  5F031LA07 ,  5F031LA15 ,  5F031MA24 ,  5F031NA05 ,  5F031PA23 ,  5F043AA01 ,  5F043EE08 ,  5F043EE35 ,  5F046LA05