特許

J-GLOBAL ID：200903077146294802

FIB断面観察におけるスケール補正方法および補正装 置

発明者： 鈴木 智史
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-103745
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298275
出願日： 1995年04月27日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】FIB断面観察時に生じる歪みを自動的に補正する。【構成】ステージコントローラにより試料の傾きを計測し、その角度に見合った補正を、入力装置により必要と判断された場合は、制御装置が行うように命令を下す。演算回路によって補正計算されたデータを制御装置を経て出力装置へ送られ、出力画像を得る。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム(FIB)により試料の断面観察を行う際、斜め観察による歪みを補正するため、試料の傾斜角をθとするとき、断面の深さ方向に1/sinθのスケール補正を行なうことを特徴とするFIB断面観察におけるスケール補正方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G06T 1/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

H01L 21/66 N ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/28 Z ,  G06F 15/62 380

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板断面観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-303896   出願人：株式会社東芝