特許
J-GLOBAL ID：200903077154138917
レーザ光のモード検査機構及びモード調整機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-246030
公開番号（公開出願番号）：特開平10-093172
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 レーザ発振器からのレーザ光のモード調整を自動化する。【解決手段】 集光器13を備えたレーザ発振器の全反射ミラー3の傾きは圧電素子5、6を含む調整機構部15により調整され、出射ミラー10から出力されたレーザ光14はモード検出部11の中央に設けられた穴を通りモードが検出される。モード検出部11は中央の穴の周囲を分割して設けられた4つの感熱素子が温度上昇した時に信号を出力し、この出号に応じて圧電素子5、6に電圧を印加して全反射ミラー3の傾きを調整し、レーザ光の断面形状が真円になるようにする。
請求項（抜粋）：
モード調整により真円としたレーザ光の断面形状と同一形状の穴の周囲を3領域以上に分割し、この分割された領域それぞれに照射されるレーザ光の強さを検出するレーザ光検出素子とを設けたことを特徴とするレーザ光のモード検査機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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レーザービーム補正機構
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-094415
出願人：株式会社東芝
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特開平4-120780
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特開平1-096517
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