特許
J-GLOBAL ID：200903077174174693
硬質膜被覆された物体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, 杉本 博司
, 星 公弘
, 二宮 浩康
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-519933
公開番号（公開出願番号）：特表2008-545063
出願日： 2006年07月04日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
本発明は、少なくとも1のTi1-xAlxN硬質皮膜を有する単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体およびその製造方法に関する。本発明は、このような硬質膜被覆された物体において、実質的に改善された耐摩耗性および耐酸化性を達成するという課題に基づいている。本発明による硬質膜被覆された物体は、プラズマ励起を行わずにCVDにより生じる、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造の単層として存在するか、またはその主要な層が、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造を有するTi1-xAlxNからなり、その際、別の層としてTi1-xAlxNをウルツ鉱構造として、および/またはNaCl構造のTiNxとして含有している多相の層である、少なくとも1のTi1-xAlxN硬質皮膜で物体が被覆されていることを特徴とする。この硬質皮膜のもう1つの特徴は、塩素含有率が、わずか0.05〜0.9原子%の範囲内であることである。物体を製造するために本発明は、物体を反応器中、700°C〜900°Cの範囲の温度でプラズマ励起を行わないCVDにより被覆し、その際、前駆体として、チタンハロゲン化物、アルミニウムハロゲン化物、および反応性窒素化合物を使用し、これらの高温で混合することを特徴とする方法を含む。本発明による被覆は特に、中ぐりバイト、フライスおよびスローアウェイチップのような鋼、超硬合金、サーメットおよびセラミックからなる工具において使用することができる。
請求項（抜粋）：
単層または多層の層構造を有する硬質膜被覆された物体であり、前記層構造はプラズマ励起を行わずにCVDにより作成されたTi1-xAlxN硬質皮膜を少なくとも1つ有し、前記Ti1-xAlxN硬質皮膜は、x>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造の単相の層として存在しているか、または前記Ti1-xAlxN硬質皮膜は、その主要な相がx>0.75〜x=0.93の化学量論係数および0.412nm〜0.405nmの格子定数afccを有する立方晶NaCl構造を有するTi1-xAlxNからなり、かつ別の相としてTi1-xAlxNがウルツ鉱構造として、および/またはNaCl構造のTiNxとして含有されている多相の層であり、かつTi1-xAlxN硬質皮膜の塩素含有率が、0.05〜0.9原子%の範囲である、硬質膜被覆された物体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
3C046FF03
, 3C046FF04
, 3C046FF10
, 3C046FF13
, 3C046FF16
, 3C046FF22
, 3C046FF24
, 4K030AA03
, 4K030AA13
, 4K030AA16
, 4K030AA17
, 4K030BA38
, 4K030CA03
, 4K030FA10
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030KA23
, 4K030LA21
