特許
J-GLOBAL ID：200903077245008340
干渉縞測定解析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275319
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099624
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【目的】 波長可変型光源を用いた干渉計装置において、開始波長を少しずつずらす毎にフリンジスキャン測定を行ってN個の縞位相情報Φを得、次にこのN個の縞位相情報Φを加算平均して被測定面の表面形状情報を得ることで、干渉縞解析データ中からコヒーレントノイズの影響を排除する。【構成】 波長可変型光源を観察用光源とした干渉計装置において、出力光の波長λを略λ2/mΔ(mは取り込む画像の枚数、Δは基準面と被測定面との光軸上での光学的距離)ずつ変化させる毎に、フリンジスキャン測定を行ってN個の縞位相情報Φを得、次にこのN個の縞位相情報Φを、下式(6)を用いて加算平均し被測定面の表面形状情報を得る。【数6】これにより、コリメータレンズ等のノイズ発生源となるそれ以外の位置では各測定時のノイズ成分が互いに打ち消しあって干渉縞情報から消去される。
請求項（抜粋）：
出力光の波長λを時間的に変化させ得る光源と、該光源からの光束を平行光束とした後基準面上および被測定面上に導く光学系と、該基準面および該被測定面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置を用い、前記出力光の波長λを略λ2/mΔ(mは取り込む画像の枚数、Δは前記基準面と前記被測定面との光軸上での光学的距離)ずつ変化させる毎に、前記撮像手段により干渉縞画像を撮像し、該撮像して得られた複数の干渉縞画像情報に対し、所定の演算処理を施し、得られた縞位相変化に基づき干渉縞解析を行う干渉縞測定解析方法において、第1回目の測定において、前記出力光の基準波長をλ1に設定し、この基準波長λ1およびこの基準波長λ1から略λ12/mΔずつ変化させた波長毎に前記干渉縞画像を撮像し、得られた複数の干渉縞画像情報に対し、前記所定の演算処理を施して縞位相情報Φ1を得、第2回目から第N回目(Nは所定の値)までの第i回目の各測定においては、その前の測定における基準波長に対して所定波長だけ変化させたλiを基準波長とし、この基準波長λiおよびこの基準波長λiから略λi2/mΔずつ変化させた波長毎に前記干渉縞画像を撮像し、得られた複数の干渉縞画像情報に対し、前記所定の演算処理を施して縞位相情報Φiを得、次に、前記N回の測定により得られたN個の縞位相情報Φiを下式(1)に代入して前記被測定面の表面形状情報を得ることを特徴とする干渉縞測定解析方法。【数1】
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (42件)：
2F064AA09
, 2F064BB04
, 2F064BB05
, 2F064CC01
, 2F064DD01
, 2F064DD08
, 2F064EE05
, 2F064FF02
, 2F064FF05
, 2F064FF08
, 2F064GG22
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ02
, 2F064JJ15
, 2F065AA53
, 2F065BB01
, 2F065BB05
, 2F065CC21
, 2F065CC22
, 2F065DD04
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065GG22
, 2F065GG25
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065MM22
, 2F065QQ00
, 2F065QQ16
, 2F065QQ23
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2F065QQ34
, 2F065QQ42
