特許
J-GLOBAL ID：200903093495139437
円錐形状測定用干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-111159
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318307
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 円錐形状の面を有する被測定物の円錐形状の面の形状を高精度に測定することができる円錐形状測定用干渉計を提供することを目的とする。【構成】 一定の波長の測定用の光を供給するレーザー光源1と、レーザー光源1からの光を平行にするコリメーターレンズ4と、反射膜6及び等間隔かつ同心円状の回折格子が一方の面に形成された平板状の基準板5であって、コリメーターレンズ4からの光のうちの一部の光を反射するとともに、他の部分の光を回折させて円錐レンズ9の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で反射した光を再び回折させる基準板5と、レーザー光源1及び基準板5の間に配置され、反射膜6で反射した光、及び円錐レンズ9の面で反射し回折格子で回折した光を反射する半透明鏡3と、半透明鏡3で反射した2つの光を受光するテレビカメラ8とを備えている。
請求項（抜粋）：
一定の波長の測定用の光を供給する光供給手段と、前記光供給手段からの光を平行にするコリメーターレンズと、反射膜及び等間隔かつ同心円状の回折格子が一方の面に形成された平板状の基準板であって、前記コリメーターレンズからの光のうちの一部の光を反射するとともに、他の部分の光を回折させて被測定物の円錐形状の面に垂直に入射させ、この面で反射した光を再び回折させる基準板と、前記光供給手段及び前記基準板の間に配置され、前記反射膜で反射した光、及び被測定物の面で反射し前記回折格子で回折した光を反射する半透明鏡と、前記半透明鏡で反射した2つの光を受光する受光部と、を備え、前記受光部で受光された2つの光の干渉によって被測定物の円錐形状の面の形状を測定する円錐形状測定用干渉計。
IPC (2件)：
引用特許：
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