特許

J-GLOBAL ID：200903077274327861

光学的高さ検出装置及びプローブ装置

発明者： 高橋 茂昭 ,  篠 敬悦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン山梨株式会社 ,  興和株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-036297
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213436
出願日： 1995年02月01日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 鏡面仕上げのように表面に検出対象となるパターンのない被検出体であってもその高さを確実に検出できる光学的高さ検出装置を提供する。【構成】 本光学的高さ検出装置10は、例えば十字形状のパターンを被検出体Wの表面に投影するパターン投影光学手段11と、このパターン投影光学手段11によって投影された被検出体W表面の投影パターンP1を検出する画像検出手段12と、この画像検出手段12によって検出された投影パターンP1の大きさLまたは背景Bとのコントラストの変化率(δc/δh)により被検出体Wの高さを求める画像処理手段13とを備えたこと特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定形状のパターンを被検出体の表面に投影するパターン投影光学手段と、このパターン投影光学手段によって投影された被検出体表面の投影パターンを検出する画像検出手段と、この画像検出手段によって検出された投影パターンの大きさまたは背景とのコントラストにより上記被検出体の高さを求める画像処理手段とを備えたこと特徴とする光学的高さ検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-328610   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平4-148814