特許

J-GLOBAL ID：200903077283576033

ハロゲン化分子の濃度の測定方法及び測定装置

発明者： 中島 信昭 ,  井澤 靖和 ,  阪部 周二 ,  八ツ橋 知幸
出願人/特許権者： 財団法人レーザー技術総合研究所
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340564
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148239
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 容易にかつ迅速にハロゲン化分子の濃度を測定することを目的とする。【解決手段】 超短パルスレーザー光をハロゲン化分子1に照射し、この照射によって生成されるハロゲン化分子由来の生成物イオン。この親イオンは、入口部にかけられている電位差により、第1加速電極2に向かって加速される。そして、第1加速電極2によって進行方向に加速され、第2加速電極3によって進行方向と直角方向に加速度が加えられる。ついで、リフレクトロン4で進行方向と逆方向に加速度が加えられ、MCP5に衝突する。この衝突によって電子が発生し、この電子をオシロスコープ6で観測する。このように質量分析装置を用いて、そのイオン強度を測定し、このイオン強度から前記ハロゲン化分子の濃度を求める。

請求項（抜粋）：

超短パルスレーザー光をハロゲン化分子に照射し、この照射によって生成されるハロゲン化分子由来の生成物イオンを質量分析装置を用いて、そのイオン強度を測定し、このイオン強度から前記ハロゲン化分子の濃度を求めるハロゲン化分子の濃度の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 27/62 ,  G01N 27/64

FI (4件)：

G01N 27/62 V ,  G01N 27/62 K ,  G01N 27/62 U ,  G01N 27/64 B