テ-プ走行用ロ-ラ-とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川瀬茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331344
公開番号（公開出願番号）：特開平5-140730
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】【目的】テ-プ走行用ロ-ラ-はSUJなどの金属棒であるが、テ-プとの摩擦によって摩耗し易い。摩耗するとテ-プも痛める。硬質炭素膜をコ-テイングして摩耗を抑える方法がある。しかし金属と硬質炭素膜との密着性が悪いので極めて能率の悪いイオンビ-ム蒸着法でなければ金属ロ-ラの上に硬質炭素膜を付けることができない。金属のロ-ラ-母材の上に硬質炭素膜を被覆する能率の良い方法を提供することが目的である。【構成】ロ-ラ-母材の上に、シリコンの中間層をPVD法によって形成し、この上に硬質炭素膜を形成する。シリコンと硬質炭素膜の密着性が良いので、硬質炭素膜の形成は時間のかからないCVD法で行うことができる。生産性の高い方法によって耐摩耗性に富んだロ-ラ-を作ることができる。

請求項（抜粋）：