特許
J-GLOBAL ID：200903077343610023
原子間力顕微鏡用カンチレバーおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-054665
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079835
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡用カンチレバーとその製造方法に関し、溝形状等のアスペクト比の比較的大きな凹凸を有する試料を精度良く測定するためのカンチレバーを提供することを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡用カンチレバー1の先端部に、正四面体の体心から4頂点方向に酸化亜鉛針状結晶が延びたテトラポッド形状の構造体2を設け、針状結晶を探針として用いる。
請求項（抜粋）：
少なくとも一部分に直線状の針状結晶を含む構造体で形成された探針を具備していることを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 9/14
, H01J 37/28
