特許
J-GLOBAL ID：200903077387654788

複屈折測定法及びそれを用いた複屈折測定装置

発明者：
畠山 弘至

畠山 弘至 について

, 
水野 利幸

水野 利幸 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-171004
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023295
出願日： 2005年06月10日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】 複屈折測定において、広い測定面を一度に測定し測定の高速化をし、且つ高精度での定量的な測定を行う。【解決手段】 本発明の複屈折測定方法は、光源からの光束を拡散板により実質的に均一にし、且つ円偏光とした上で被検物に照射し、前記被検物を透過した光束について直線偏光板を回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第1の画像とし、前記被検物を挿入せずに前記直線偏光板を同じ回転幅で回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第2の画像とし、画素毎に第1の画像と第2の画像を比較することで、前記被検物の複屈折量と光学軸を測定面内の複数箇所で求める複屈折測定方法において、少なくとも第1及び第2の画像についてCCDカメラの輝度信号から光強度に変換し、前記被検物の透過率と被検物を照射する光束の偏光度と消光比を基に補正処理を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光束を拡散板により実質的に均一にし、且つ円偏光とした上で被検物に照射し、前記被検物を透過した光束について直線偏光板を回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第1の画像とし、前記被検物を挿入せずに前記直線偏光板を同じ回転幅で回転することにより現れる明暗の変化をCCDカメラにより画素毎に記録した複数の画像を第2の画像とし、画素毎に第1の画像と第2の画像を比較することで、前記被検物の複屈折量と光学軸を測定面内の複数箇所で求める複屈折測定方法において、 少なくとも第1及び第2の画像についてCCDカメラの輝度信号から光強度に変換し、前記被検物の透過率と被検物を照射する光束の偏光度と消光比を基に補正処理を行うことを特徴とする複屈折測定方法。
IPC (1件)：
G01N 21/23
FI (1件)：
G01N21/23
Fターム (20件)：
2G059AA02 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM04 ,  2G059MM14 ,  2G059NN05
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • 特許第3292173号
  • 特開昭63-269045号公報
  • 複屈折分布測定方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-301443   出願人：中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所, 富士電機株式会社
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