電界放射型カソード

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：脇篤夫 (外2名) , 脇篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216160
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312737
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】各エミッタの放射電子量を均一化すると共に、ゲート電極とエミッタが短絡してもライン欠陥を生じさせないようにする。【解決手段】チャネル形成電極5上に形成されたチャネルの電子移動量を、電流制御電極3に正の電圧を印加することにより制御する。これにより、カソード電極4からエミッタ9に供給される電流量を制御することができる。また、エミッタ9とゲート電極7とが短絡すると、チャネルの電流密度が増大してチャネルが破壊されることにより、エミッタ9への電流供給を停止させることができる。

請求項（抜粋）：

鋭利な先端を有するエミッタと、その先端を取りまくように形成されたゲート電極からなる電界放射型カソードにおいて、前記エミッタは金属又は金属化合物を堆積あるいは加工して形成されると共に、カソード基板上に形成されたチャネル形成電極の一端の上に形成されており、該チャネル形成電極の他端にはカソード電極が形成されると共に、前記エミッタと前記カソード電極との間には、前記チャネル形成電極を流れる電流を制御するための電流制御電極が一つ以上設けられていることを特徴とする電界放射型カソード。

IPC (2件)：

H01J 1/30 , H01J 31/12

FI (2件)：

H01J 1/30 F , H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-295138
特開平2-309451
特開平4-137343

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