特許
J-GLOBAL ID：200903077433035664
照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-099816
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307268
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 露光工程において、基板からの反射光を簡便な方法で低減する。【構成】 照明光の偏光を入射面内に含まれる直線偏光とする。【効果】 基板からの反射率はS偏光とP偏光で異なる。基板に斜め方向から光が入射した場合、P偏光の反射率はS偏光より小さい。照明光の偏光を入射平面に対し常にP偏光とすることにより、基板反射の影響を低減することができる。
請求項（抜粋）：
照明光学系からの照明光により物体上の所定領域を均一に照明する照明光学装置において、前記照明光の一部あるいは全体を前記所定領域に対し傾斜光とする手段と、前記傾斜光の偏光を前記傾斜光の入射面内に含まれる直線偏光とする手段とを有することを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 527
, H01L 21/30 515 D
