特許

J-GLOBAL ID：200903077433296107

形態像観察装置およびその方法

発明者： 小池 紘民 ,  橋本 進
出願人/特許権者： 株式会社トプコン ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307137
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 この発明は試料に荷電粒子や放射線を照射した時に発生する蛍光からカラ-像とスペクトルとを同時に得ることができる形態観察装置を提供することにある。【構成】 試料に荷電粒子や放射線を照射する照射系11と、荷電粒子や放射線の照射によって上記試料から発生する光を分光する分光器21と、この分光手段によって分光された光をそれぞれ所定の波長単位で検出する波長検出器27と、この波長検出器からの検出信号をカラ-画像とし上記試料の形態像と重ね合わせる加算器34と、上記波長検出器27からの検出信号によって試料で発生した光のスペクトルを測定するカラ-モニタ32とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料に荷電粒子や放射線を照射してこの試料の形態像を観察する形態像観察装置において、上記試料に荷電粒子や放射線を照射する照射手段と、荷電粒子や放射線の照射によって上記試料から発生する光を分光する分光手段と、この分光手段によって分光された光をそれぞれ所定の波長単位で検出する検出手段と、この検出手段からの検出信号をカラ-画像とし上記形態像と重ね合わせる画像形成手段と、上記検出手段からの検出信号によって上記試料で発生した光のスペクトルを測定する測定手段とを具備したことを特徴とする形態観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 502 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 形態観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-130966   出願人：株式会社トプコン
• 特開平4-355356
  
• 特開昭63-121732
  
• 特開昭58-200209