特許

J-GLOBAL ID：200903077441063430

走査プローブの力制御方法

発明者： スーザン フィリッパ ジャービス ,  ウルス デューリック ,  マーク アルフレッド ランツ
出願人/特許権者： 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構 ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 福田 武通 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-183976
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019092
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】走査型プローブ顕微鏡などに用いる走査プローブの力制御方法を提供する。【解決手段】走査プローブを任意の力で制御するシステムにおいて、フィードバックループの帯域幅を上記走査プローブのカンチレバーの一次共振周波数より高く設定して使用する。

請求項（抜粋）：

走査プローブを磁気力、静電気力などの任意の力で制御するシステムにおいて、フィードバックループの帯域幅が上記走査プローブのカンチレバーの一次共振周波数より高く設定して使用することを特徴とする走査プローブの力制御方法。

IPC (3件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z

Fターム (7件)：

2F069AA57 ,  2F069CC06 ,  2F069GG01 ,  2F069GG02 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069MM21

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁場制御による走査プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-344903   出願人：工業技術院長, 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構, 松下電器産業株式会社
• 表面電位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-009536   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭47-027653