特許
J-GLOBAL ID：200903077450587743
X線回折顕微鏡装置およびX線回折顕微鏡装置によるX線回折測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-318922
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083999
出願日： 2003年09月10日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 極めて短時間で画像を取得することが可能であり、さらに不均一な試料、同じ試料の中に異なる結晶構造が存在する物質、あるいは方位の異なる集合組織が含まれている場合にその違いをも画像化することのできるX線回折顕微鏡装置およびX線回折顕微鏡装置によるX線回折測定方法を提供する。【解決手段】 X線発生装置(2)と、試料ステージ(3)と、角度発散抑制手段としてのコリメータ(4)と、エネルギー分解能を有する2次元X線検出器(5)と、画像処理装置と画像記録・表示装置(6)とを備え、試料(7)と2次元X線検出器(5)を、コリメータ(4)を介して極力接近させることにより、回折X線の角度発散を抑制し、2次元X線検出器(5)と試料ステージ(3)を動かさずに静止させた状態で回折X線を測定し画像化するX線回折顕微鏡装置(1)とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
入射X線を試料に照射した際に試料上の特定の位置において生じる回折X線を測定し画像化するX線回折顕微鏡装置であって、X線発生装置と、試料ステージと、角度発散抑制手段としてのコリメータと、エネルギー分解能を有する2次元X線検出器と、画像処理装置と、画像記録・表示装置とを備え、試料と2次元X線検出器を、コリメータを介して極力接近させることにより、回折X線の角度発散を抑制し、2次元X線検出器と試料ステージを動かさずに静止させた状態で回折X線を測定し画像化することを特徴とするX線回折顕微鏡装置。
IPC (3件)：
G01N23/20
, G21K1/06
, G21K7/00
G01N23/20
, G21K1/06 G
, G21K7/00
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001BA04
, 2G001BA26
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001DA10
, 2G001EA03
, 2G001EA09
, 2G001HA13
, 2G001JA16
, 2G001KA08
, 2G001MA04
, 2G001NA10
, 2G001NA15
, 2G001NA17
, 2G001SA02
, 2G001SA10
, 2G088EE30
, 2G088FF02
, 2G088GG21
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ12
