特許
J-GLOBAL ID：200903077467503721

収束電子回折法

発明者：
戸田 昭夫

戸田 昭夫 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009664
出願日： 1998年06月24日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 電子線の加速電圧の精度を高めて、格子歪み及び応力の測定値を更に高精度化する事で、高空間分解能、高精度、且つ2次元的に結晶材料の格子歪み、応力を高精度に測定する事を可能とする。【解決手段】 結晶材料に収束電子を入射させ、透過ディスク11に現れたHOLZ図形1、2、3、4、5、6、7、8、9、10を、理論的計算で求めたHOLZ図形と比較する事により、入射電子線の有効加速電圧を定量する事、及びかくして定量した入射電子線の有効加速電圧を用いて、結晶材料31の局所領域21乃至31、34に於ける格子歪み及び応力の定量を行う。
請求項（抜粋）：
結晶材料に収束電子を入射させ、透過ディスクに現れたHOLZ図形を、理論的計算で求めたHOLZ図形と比較する事により、入射電子線の有効加速電圧を定量する事を特徴とする収束電子回折法。
IPC (3件)：
G01N 23/20 ,  G21K 5/04 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N 23/20 ,  G21K 5/04 M ,  H01L 21/66 N
Fターム (20件)：
2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA09 ,  2G001HA01 ,  2G001JA13 ,  2G001KA07 ,  2G001KA08 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001RA03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CB19 ,  4M106DH01 ,  4M106DH11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19
引用特許：
審査官引用 (6件)
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