特許
J-GLOBAL ID：200903077491449614

走査形プローブ顕微鏡

発明者：
山田 啓文

山田 啓文 について

, 
小林 圭

小林 圭 について


出願人/特許権者：
関西ティー・エル・オー株式会社

関西ティー・エル・オー株式会社 について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-203906
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033465
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 環境温度に依存することなく、高感度で試料表面を観察すること0【解決手段】試料2の表面3を走査するカンチレバー4を有する機械的発振手段6では、そのカンチレバー4が、共振周波数f1で振動され、その出力は、周波数変換手段8に与えられる。水晶発振子41によって安定化された局部発振周波数f2による中間周波数f3の信号は、位相同期ループ回路の位相検波器45に与えられ、また水晶発振子48によって安定化された基準周波数f4を発生する電圧制御発振回路46が備えられる。カンチレバー4と表面3との相互作用による力に依存して、共振周波数f1が変化し、その変化量△fに対応して中間周波数f3が変化し、位相検波器45の電圧V1が変動電圧△Vを生じる。変化量△f、したがって変動電圧△Vが一定になるように、カンチレバー4と試料2との間の距離を一定に保って走査する。
請求項（抜粋）：
水晶発振子または高安定圧電発振子を用いて安定化された電圧制御発振回路を有する位相同期ループ回路により、探針または探針が連結する機械的共振部からの発振信号と位相同期ループの出力である基準周波数信号とが位相同期することで、探針または探針が連結された機械的共振部の共振周波数を検出し、その変化量を予め定める値となるように探針または試料の変位制御をおこなうことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28
FI (4件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 X
Fターム (14件)：
2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD19 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG19 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069NN04
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 走査プローブ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-123843   出願人：日本電子株式会社
  • 特開平3-065819
  • 走査プローブ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-043938   出願人：日本電子株式会社

前のページに戻る

TOP

BOTTOM