特許
J-GLOBAL ID:200903077495862079
反射防止膜及びこれを有する光学部品
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-065318
公開番号(公開出願番号):特開2008-225210
出願日: 2007年03月14日
公開日(公表日): 2008年09月25日
要約:
【課題】紫外〜可視域又は可視〜近赤外域の広帯域において高い反射防止効果を有する反射防止膜及びこれを有する光学部品を提供することである。【解決手段】基板上に、第1層〜第9層を積層してなり、波長λnmにおいて、第1層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.01λ〜0.15λ nmであり、第2層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.003λ〜0.2λ nmであり、第3層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.03λ〜0.32λ nmであり、第4層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.003λ〜0.15λ nmであり、第5層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.05λ〜0.25λ nmであり、第6層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.01λ〜0.15λ nmであり、第7層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.03λ〜0.15λ nmであり、第8層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.18λ〜0.3λ nmであり、第9層の屈折率が1.05〜1.3、光学膜厚が0.15λ〜0.25λ nmであることを特徴とする反射防止膜。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に、前記基板側から順に第1層〜第9層を積層してなる反射防止膜であって、波長λnmにおいて、
前記第1層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.01λ〜0.15λ nmであり、
前記第2層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.003λ〜0.2λ nmであり、
前記第3層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.03λ〜0.32λ nmであり、
前記第4層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.003λ〜0.15λ nmであり、
前記第5層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.05λ〜0.25λ nmであり、
前記第6層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.01λ〜0.15λ nmであり、
前記第7層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.03λ〜0.15λ nmであり、
前記第8層の屈折率が1.35〜1.75、光学膜厚が0.18λ〜0.3λ nmであり、
前記第9層の屈折率が1.05〜1.3、光学膜厚が0.15λ〜0.25λ nmである
ことを特徴とする反射防止膜。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B1/10 A
, B32B7/02 103
Fターム (43件):
2K009AA09
, 2K009CC02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009CC26
, 2K009DD02
, 2K009DD03
, 4F100AA05C
, 4F100AA05E
, 4F100AA17B
, 4F100AA17D
, 4F100AA17E
, 4F100AA21B
, 4F100AA21D
, 4F100AA21E
, 4F100AA24B
, 4F100AA24D
, 4F100AA24E
, 4F100AA27B
, 4F100AA27D
, 4F100AA27E
, 4F100AA28B
, 4F100AA28D
, 4F100AA28E
, 4F100AG00
, 4F100AK17C
, 4F100AK17E
, 4F100AR00B
, 4F100AR00C
, 4F100AR00D
, 4F100AR00E
, 4F100AT00A
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100GB90
, 4F100JN18B
, 4F100JN18C
, 4F100JN18D
, 4F100JN18E
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
引用特許:
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