特許
J-GLOBAL ID：200903077520260305

アーク遮断回路、スパッタ用電源及びスパッタ装置

発明者：
今川 和彦

今川 和彦 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 日向寺 雅彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-070019
公開番号（公開出願番号）：特開2003-268541
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 迅速且つ確実にアーク放電を遮断できるアーク遮断回路、と、それを用いたスパッタ電源及びスパッタ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 正方向の電圧を印加した負荷(101、104)におけるアーク放電(150)の発生を検出すると、前記負荷に対して逆方向の電圧を印加するアーク遮断回路であって、整流素子(D1、D2)とコンデンサ(Cpass)とが並列接続された回路を有し、前記負荷に対して前記正方向の電圧が印加された状態においては、前記負荷を流れる電流が前記整流素子を順方向電流として流れ、前記負荷に対して前記逆方向の電圧が印加される状態においては、前記コンデンサを充電する充電電流が前記負荷を流れるようにしたことを特徴とするアーク遮断回路を提供する。
請求項（抜粋）：
正方向の電圧を印加した負荷におけるアーク放電の発生を検出すると、前記負荷に対して逆方向の電圧を印加するアーク遮断回路であって、整流素子とコンデンサとが並列接続された回路を有し、前記負荷に対して前記正方向の電圧が印加された状態においては、前記負荷を流れる電流が前記整流素子を順方向電流として流れ、前記負荷に対して前記逆方向の電圧が印加される状態においては、前記コンデンサを充電する充電電流が前記負荷を流れるようにしたことを特徴とするアーク遮断回路。
IPC (2件)：
C23C 14/34 ,  H02H 3/087
FI (2件)：
C23C 14/34 U ,  H02H 3/087
Fターム (9件)：
4K029DC00 ,  4K029EA09 ,  5G004AA04 ,  5G004AA05 ,  5G004AB02 ,  5G004BA03 ,  5G004BA04 ,  5G004DA02 ,  5G004EA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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