インクジェットヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325056
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141653
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】隔壁に形成した電極を外部制御部へ容易に接続し、かつ製造上の歩留まりを向上したインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】複数の隔壁24によって隔てられた噴射溝21、ダミー溝22を形成したアクチュエータ基板の全表面に導電層を形成し、隔壁24の頂部、およびアクチュエータ基板の前端面10aの導電層をそれぞれ除去することで、噴射溝21の内面に第1の電極26aを、ダミー溝22に第2の電極26bをそれぞれ形成する。また予めダミー溝22,22どうしを連通して形成した凹部25内に導電層を残し、その導電層と裏面の接続端子とを接続する導電材料を真空蒸着等によりアクチュエータ基板前端面に付着させて、一対の第2の電極26b,26bを接続端子に接続する導電帯27を形成する。導電帯27を介して第2の電極26b,26bおよび第1の接続端子26a間に電圧を印加することで、隔壁24を変形させ、インクを吐出する。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部が圧電材料からなる複数の隔壁によって隔てられた複数の溝を有するアクチュエータ基板と、前記複数の隔壁の側面にそれぞれ形成された複数の電極とを備え、前記複数の溝のうちのある溝の内側の第1の電極と、該溝の両外側の一対の第2の電極との間に電圧を印加することにより、該溝の両側の隔壁を変形させ、該溝内のインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータ基板の、インク吐出方向の一方の端面に、前記一対の第2の電極とそれぞれ接続し、外部制御部へ接続する導電帯が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Fターム (9件)：

2C057AF93 , 2C057AG12 , 2C057AG29 , 2C057AG45 , 2C057AG93 , 2C057AP02 , 2C057AP13 , 2C057AP22 , 2C057AP25

引用特許：

審査官引用 (4件)

圧電ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-063269 出願人：富士通株式会社, 富士通アイソテック株式会社
インクジェットヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-090993 出願人：ブラザー工業株式会社
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-080155 出願人：ブラザー工業株式会社

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