特許
J-GLOBAL ID:200903079105297247

インクジェットヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梶 良之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-090993
公開番号(公開出願番号):特開平10-278282
出願日: 1997年04月09日
公開日(公表日): 1998年10月20日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、エネルギー発生手段となる側壁に形成された各電極の制御手段への接続作業を低減することで、各電極と制御手段の接続の信頼性を向上でき、もって信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することにある。【解決手段】 アクチュエータ基板2に、互いに平行となる圧電側壁3と凹溝4とを複数形成した後に、アクチュエータ基板2の後端面2Bと溝加工側に対向する裏面2C、各圧電側壁3の各側面とに導電層Dsを形成して、各電極5を導電層Dsに導通させる。そして、ダイシング加工等によりアクチュエータ基板2の後端面2Bと裏面2Cに亘って複数の分割横溝15を形成して前後方向に延びる複数の導電パターン7を平行分割すると共に、裏面2Cに各横溝15と直交する分割縦溝16を形成することで各導電パターン7を他の部分の導電層Dsから分割する。
請求項(抜粋):
アクチュエータ基板に形成されインクを噴射する複数の噴射チャンネル内のインクに噴射エネルギーを与える複数のエネルギー発生手段と、前記エネルギー発生手段に接続された複数の電極と、その電極を制御手段にそれぞれ接続する複数の導電パターンとを有し、前記制御手段からの電気信号を前記導電パターンおよび電極を介して前記エネルギー発生手段に供給し、エネルギー発生手段を駆動して前記噴射チャンネルよりインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法であって、前記電極のすべてに導通する導電層を、前記アクチュエータ基板の噴射チャンネルのある面と異なる面に形成する第1工程と、その導電層の一部を、前記電極にそれぞれ一端を接続した複数の前記導電パターンに分割する第2工程と、前記複数の導電パターンの他端を前記導電層の他の部分に対し分割する第3工程と、からなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
引用特許:
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る