特許

J-GLOBAL ID：200903077594208399

レーザ加工機

発明者： 坂本 淳 ,  遠山 聡一 ,  大槻 治明 ,  平井 洋武 ,  村上 哲雄 ,  青山 博志 ,  大久保 弥市
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358151
公開番号（公開出願番号）：特開2001-179479
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】 スキャナ本体の環境条件、特に周囲の湿度が変化しても、加工精度に優れるレーザ加工機を提供すること。【解決手段】 モータ4と、モータ4の回転角度を検出する静電容量型のセンサ5と、モータ4に接続された回転軸6の端部に配置された鏡7とから構成されるスキャナ本体1を容器20に気密的に収納する。容器20のレーザビーム12が透過する位置にはガラス窓21とガラス窓22を配置し、レーザビーム12の光路を妨げないようにしておく。容器20の内部に吸湿剤30を配置すると、内部の湿度を一定に保つ能力がさらに向上する。

請求項（抜粋）：

鏡を軸の回りに回転させ、前記鏡に入射するレーザビームを予め定める方向に反射させるようにしたレーザ加工機において、前記鏡の回転角度検出手段を静電容量型の回転角センサとし、この回転角センサと前記鏡とを気密的に収納する容器を設け、前記容器の前記レーザビームが透過する部分を前記レーザビームが透過可能な材料で形成することを特徴とするレーザ加工機。

IPC (3件)：

B23K 26/08 ,  B23K 26/06 ,  G02B 26/10 104

FI (4件)：

B23K 26/08 N ,  B23K 26/08 B ,  B23K 26/06 Z ,  G02B 26/10 104 Z

Fターム (9件)：

2H045AB01 ,  2H045BA02 ,  2H045CB22 ,  2H045DA31 ,  2H045DA42 ,  4E068CB01 ,  4E068CC00 ,  4E068CC06 ,  4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ビームポジショナの制御方式
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-346880   出願人：日本電気レーザ機器エンジニアリング株式会社
• 特開昭62-287217
  
• 特開昭62-287217