特許

J-GLOBAL ID：200903077695117149

3次元形状測定機及びその測定方法

発明者： 神谷 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-140118
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324311
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 被測定物を反転させたり、干渉を利用したりすることなく、被測定物を使用時と同じ水平方向に保持したまま、その両面形状を高精度に測定することができる、簡単な構成の3次元形状測定機及びその測定方法を提供すること。【解決手段】 被測定物の上面を走査する上面光プローブと、被測定物の下面を走査する下面光プローブは、水平方向となるR軸方向の上面Rステージと下面Rステージ、及び垂直方向となるZ軸方向の上面Zステージと下面Zステージ上にそれぞれ設けられ、被測定物はZ軸の回転成分となるθ軸方向のθステージ上に水平方向に載置され、且つ、双方の光プローブの走査位置及び被測定物のθ軸回転角度を検出する位置検出手段と、光プローブの走査や被測定物の回転に起因する運動誤差を検出する運動誤差検出手段とを備え、位置検出手段と運動誤差検出手段の検出結果から被測定物の形状を算出すること。

請求項（抜粋）：

水平方向及びこれに垂直方向に移動可能な非接触型の光プローブを、被測定物の形状に沿って走査させて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定機において、前記光プローブは、前記被測定物の上面形状に沿って走査する上面光プローブと、前記被測定物の下面形状に沿って走査する下面光プローブとから成っており、前記上面光プローブと前記下面光プローブの走査位置、又は当該走査位置及び前記被測定物の回転角度を3次元位置情報として検出する位置検出手段と、前記光プローブの走査や前記被測定物の回転に起因する運動誤差を検出する運動誤差検出手段と、を備え、前記位置検出手段と前記運動誤差検出手段の検出結果から前記被測定物の上面及び下面の形状を算出することを特徴とする3次元形状測定機。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/22 ,  G02B 26/10

FI (5件)：

G01B 21/00 E ,  G01B 21/22 ,  G02B 26/10 G ,  G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 D

Fターム (40件)：

2F065AA04 ,  2F065AA39 ,  2F065AA53 ,  2F065DD14 ,  2F065FF17 ,  2F065FF49 ,  2F065FF52 ,  2F065FF55 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP22 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069AA83 ,  2F069EE03 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG58 ,  2F069GG59 ,  2F069HH09 ,  2F069HH15 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ17 ,  2H045AG09 ,  2H045BA14 ,  2H045BA15 ,  2H045BA20 ,  2H045BA22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 3次元形状測定装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-332002   出願人：キヤノン株式会社
• 特公平7-003331