特許

J-GLOBAL ID：200903077713089069

X-Yアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチアレイとこれを使用したセンサマトリックス

発明者： ユ ガン ,  カオ ヨン
出願人/特許権者： ユニアックス コーポレイション
代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-529758
公開番号（公開出願番号）：特表2002-502128
出願日： 1999年02月02日
公開日（公表日）： 2002年01月22日
要約：

【要約】本発明は、一般的に、薄膜半導体膜を含む二端子の電気的マイクロスイッチを製造すること、およびこれらのマイクロスイッチを使用して列-行(x-y)のアドレス指定可能なマイクロスイッチマトリックスを構築することに関する。これらのマイクロスイッチは二端子の装置であり、これらを通して電流および電位(またはこれらの導関数または積分値)が、外部バイアスの大きさまたは極性によりオンおよびオフ切り換えされうる。マイクロスイッチは、電極/半導体/電極の薄膜配置で半導体の薄膜から作製される。列-行のアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチマトリックスは、高画素密度で大面積で作製されうる。このようなマトリックスは、外部の物理的条件(光照射、温度、圧力、磁場のような)に応じて変化する電気的特性を有するセンサ層と集積化され、これによって種々の検出マトリックスを形成することができる。

請求項（抜粋）：

複数の電気的マイクロスイッチを含むマイクロスイッチアレイであって、複数のマイクロスイッチの各々のメンバーが、第1の電極/半導体/第2の電極の層の形態であり、該半導体層がアレイのメンバーによって共有されたユニット体であることを特徴とするマイクロスイッチアレイ。

IPC (7件)：

H01L 49/02 ,  G01J 1/02 ,  H01L 27/146 ,  H01L 51/00 ,  H01L 29/872 ,  H01L 31/09 ,  H01L 35/24

FI (7件)：

H01L 49/02 ,  G01J 1/02 Q ,  H01L 35/24 ,  H01L 27/14 C ,  H01L 29/28 ,  H01L 29/48 Z ,  H01L 31/00 A

Fターム (39件)：

2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065BA06 ,  2G065BA09 ,  2G065BA29 ,  2G065BA34 ,  2G065BB25 ,  2G065BB30 ,  2G065BE01 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA06 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104GG03 ,  4M104GG05 ,  4M118BA05 ,  4M118CA06 ,  4M118CB01 ,  4M118CB07 ,  4M118CB08 ,  4M118FB15 ,  5F088AA01 ,  5F088AB02 ,  5F088AB09 ,  5F088AB11 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BB10 ,  5F088DA01 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線画像センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-208870   出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開昭63-300576
  
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336298   出願人：富士電機株式会社
• 特開昭63-300576