パターン検査装置およびその方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238812
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067797
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】非検査物の表面を複数の検査領域に分割し、これらを複数の検出光学系を用いて同時に検査することで、検査の高速化を図ること。【解決手段】複数の検出光学系により得られる画像の質を定量的に評価し、その結果を用いて、各々の検出光学系の検査感度が同程度となるように、検査時の画像処理パラメタを調整する。

請求項（抜粋）：

対象物上の複数の領域において、該対象物の表面の物理的性質を現した画像を検出する複数の検出光学系と、該各々の検出光学系により検出された画像信号を処理可能な画像処理部と、対象物を保持し移動可能なステージと、上記検出光学系により得られる画像の質を定量的に評価する像質評価手段と、該像質評価手段による像質評価結果にもとづいて、複数の上記検出光学系による検査感度が同程度となるように検査パラメータを決定する手段とを、有することを特徴とするパターン検査装置。

IPC (6件)：

H01J 37/28 , G01N 21/88 , G01N 23/225 , G06T 7/00 , H01J 37/22 502 , H01L 21/66

FI (7件)：

H01J 37/28 B , G01N 21/88 E , G01N 23/225 , H01J 37/22 502 H , H01L 21/66 J , H01L 21/66 Z , G06F 15/62 405 A

Fターム (66件)：

2G001AA03 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001CA07 , 2G001DA06 , 2G001FA02 , 2G001FA06 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA03 , 2G001JA12 , 2G001JA16 , 2G001JA17 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA11 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AA61 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051AC04 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA19 , 2G051EA24 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051ED11 , 2G051FA01 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA02 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106DB05 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 4M106DJ13 , 4M106DJ14 , 4M106DJ15 , 4M106DJ19 , 5B057AA03 , 5B057BA01 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC02 , 5B057DC30 , 5C033FF03 , 5C033JJ05 , 5C033MM07

引用特許：

出願人引用 (3件)

電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-251233 出願人：富士通株式会社
特開昭62-105349
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-310668 出願人：積水化学工業株式会社

審査官引用 (3件)

電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-251233 出願人：富士通株式会社
特開昭62-105349
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-310668 出願人：積水化学工業株式会社

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