塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197227
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033471
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】低粘度型の塗布液を用いた場合でも滴りや気泡の発生を完全に防止することができる塗布装置を提供する。【解決手段】開閉バルブ79として、圧電素子により駆動されるピエゾバルブを使用する。遅れ時間をほとんど無視できるピエゾバルブの使用により、開閉バルブ79の作動時期を正確に調節できるとともに開閉時の動作速度を微調節することができる。そのため、バルブ閉鎖時の動作をゆっくりと行わせることができるので、レジスト液の滴りやレジストノズル60先端から空気が入ってレジスト液に気泡が発生するのを適切に防止することができる。

請求項（抜粋）：

塗布液を収容するタンクと、前記タンクから供給された塗布液を被処理体に吐出するノズルと、前記タンクと前記ノズルとの間に配設され、前記タンク内の塗布液を圧送するポンプと、前記ポンプと前記ノズルとの間に配設され、電気的に駆動されて塗布液の流路を開閉する開閉バルブとを具備することを特徴とする塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 11/10 , H01L 21/027

FI (2件)：

B05C 11/10 , H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-012917
流体の流量制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-105535 出願人：株式会社フジキン
特開平1-279175

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