特許

J-GLOBAL ID：200903077801639494

トップコート組成物、それを用いたアルカリ現像液可溶性トップコート膜及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： 漢那 慎一
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-295328
公開番号（公開出願番号）：特開2009-122325
出願日： 2007年11月14日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：

【課題】液浸露光による微細パターン形成プロセスにおける現像工程で剥離が可能であり、液浸液に対する後退接触角が大きく、液浸液追随性に優れたトップコート膜を形成することができるトップコート組成物、それを用いたアルカリ現像液可溶性トップコート膜及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)トップコート膜表面の接触角を高める機能を有する、Si原子及び/又はF原子を有する化合物及び(C)溶剤を含有するトップコート組成物、それを用いたアルカリ現像液可溶性トップコート膜及びそれを用いたパターン形成方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂、 (B)トップコート膜表面の接触角を高める機能を有する、Si原子及び/又はF原子を有する化合物及び (C)溶剤 を含有することを特徴とする、レジスト膜上に塗布されるトップコート組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/11 ,  G03F 7/38 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/11 501 ,  G03F7/38 501 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 575

Fターム (17件)：

2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB45 ,  2H025DA02 ,  2H025FA01 ,  2H096AA25 ,  2H096BA09 ,  2H096DA04 ,  5F046PA19

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公昭57-153433号公報
  
• パターン形成方法及びその露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-008136   出願人：株式会社日立製作所
• 液浸型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-121757   出願人：株式会社ニコン