特許
J-GLOBAL ID：200903077816418044
石英るつぼの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040766
公開番号（公開出願番号）：特開平11-236233
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：
【要約】【課題】多結晶シリコンを溶融してシリコン単結晶を引上げる際に、シリコンの単結晶化率および歩留まりを改善する石英るつぼを提供できる。【解決手段】多数の気泡を含む不透明石英ガラス層と、この不透明石英ガラス層の内側に形成された実質的に無気泡の透明石英ガラス層からなる単結晶引上げ用石英るつぼの製造方法であって、原料石英粉を回転する型内でるつぼ形状に成形したのち、原料石英粉を溶解して、次いで溶融した原料石英を減圧条件で保持することによって前記不透明石英ガラス層の内側に透明石英ガラス層を形成するに際し、原料石英粉の溶解手段として6相交流を超える多相交流多電極アーク放電を用いることを特徴とする石英るつぼの製造方法である。
請求項（抜粋）：
多数の気泡を含む不透明石英ガラス層と、この不透明石英ガラス層の内側に形成された実質的に無気泡の透明石英ガラス層からなる単結晶引上げ用石英るつぼの製造方法であって、原料石英粉を回転する型内でるつぼ形状に成形したのち、原料石英粉を溶解して、次いで溶融した原料石英を減圧条件で保持することによって前記不透明石英ガラス層の内側に透明石英ガラス層を形成するに際し、原料石英粉の溶解手段としてn相交流n電極アーク放電(ただし、n≧6)を用いることを特徴とする石英るつぼの製造方法。
FI (2件)：
C03B 20/00 H
, C03B 20/00 G
