特許
J-GLOBAL ID：200903077863985763
ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-120556
公開番号（公開出願番号）：特開2008-273079
出願日： 2007年05月01日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】液滴吐出面に撥水膜を、液滴の流路に親水膜をそれぞれ均一かつ簡易に成膜することができるノズル基板の製造方法等を提供する。【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔11を有し、ノズル孔11の液滴吐出面1bが撥水性で、ノズル孔11の内面1cが親水性であるノズル基板1の製造方法であって、ノズル基材100の少なくとも液滴吐出面100b、例えば液滴吐出面100bにのみ、または全面に撥水膜12を形成する工程と、撥水膜12を形成したノズル基材100の少なくとも液滴吐出面100b及びノズル孔内面100c、例えば全面にさらに親水膜13を形成する工程と、液滴吐出面100bに形成された親水膜13を除去する工程とを含む。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するためのノズル孔を有し、該ノズル孔の液滴吐出面が撥水性で、該ノズル
孔の内面が親水性であるノズル基板の製造方法であって、
前記ノズル基材の少なくとも液滴吐出面に撥水膜を形成する工程と、
前記撥水膜を形成した前記ノズル基材の少なくとも液滴吐出面及びノズル孔内面にさら
に親水膜を形成する工程と、
前記液滴吐出面に形成された前記親水膜を除去する工程とを、
含むことを特徴とするノズル基板の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF93
, 2C057AG07
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP57
, 2C057AP59
, 2C057AP60
, 2C057BA04
, 2C057BA14
