特許

J-GLOBAL ID：200903077949429340

ガラス系脆性基体印刷凹版の作製方法

発明者： 緒方 一雄 ,  井上 浩治 ,  磯見 晃 ,  塚本 勝秀
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109235
公開番号（公開出願番号）：特開平7-319152
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】 量産性に富み、工業生産性が高く、コストが低く、かつ優れた品質の微細なパターンを形成できるガラス系脆性基体印刷凹版の作製方法を提供する。【構成】 ほう珪酸ガラスを基体1とし、この基体1上に金属薄膜2を形成する。金属薄膜2上にフォトレジストからなる所望の樹脂パターン3を形成する。湿式エッチングにより金属薄膜2からなる金属パターン2aを形成する。樹脂パターン3と金属パターン2aをエッチングマスク4として浸漬エッチングにより、基体1にパターンを形成する。樹脂パターン3および金属パターン2aを全面除去して、ガラス印刷凹版6を得る。金属パターン2aと樹脂パターン2aとからなるエッチングマスク4を用いているため、金属薄膜2に微少なピンホール7があっても樹脂パターン2aにより塞がれ、良好なエッチングマスクとして機能し、作製したガラス印刷凹版6の微細加工品質は優れたものとなる。

請求項（抜粋）：

ガラス系脆性基体上に金属薄膜を形成し前記金属薄膜の上に樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層および金属薄膜を所望のパターンに加工する工程と、前記所望のパターンを形成した樹脂層および金属薄膜をエッチングマスクとして前記ガラス系脆性基体をエッチング液浸漬法によりエッチングする工程とを含むガラス系脆性基体印刷凹版の作製方法。

IPC (3件)：

G03F 7/00 505 ,  B41N 1/12 ,  C03C 15/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 印刷用ガラス凹版の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-043438   出願人：日本板硝子株式会社
• 凹版印刷版の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-066958   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開平3-069396