特許
J-GLOBAL ID：200903077962799467
被検ガス中の特定ガス濃度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091432
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267892
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】被検ガス中に含まれる特定ガスの濃度を、被検ガス中に水蒸気などの雑ガスが存在した場合でも、雑ガス成分の濃度変化による影響を受けることなく、しかもppm単位まで正確に測定可能な特定ガス濃度測定方法及び装置の提供。【解決手段】第1酸素ポンピングセル13、第1酸素濃度測定セル14に被検ガスを導入し、導入された被検ガス中の酸素濃度が所定濃度となるように、第1酸素濃度測定セル14の出力に基づいて、第1酸素ポンピングセル13によって被検ガス中の酸素を汲み出し、所定酸素濃度となった被検ガスを、第2酸素ポンピングセル15、第2酸素濃度測定セル16に導入し、第2酸素濃度測定セル16の出力に基づいて、被検ガス中に含まれる水蒸気が分解し得る電流を第2酸素ポンピングセル15に供給し、この電流に基づいて被検ガス中の特定ガス濃度を求めること。
請求項（抜粋）：
酸素イオン導電体と電極を備えた第1酸素ポンピングセル及び第1酸素濃度測定セルに被検ガスを導入し、前記導入された被検ガス中の酸素濃度が所定濃度となるように、前記第1酸素濃度測定セルの出力に基づいて、前記第1酸素ポンピングセルによって前記導入された被検ガス中の酸素を汲み出し、さらに、前記所定の酸素濃度となった被検ガスを、酸素イオン導電体と電極を備えた第2酸素ポンピングセル及び第2酸素濃度測定セルに導入し、前記第2酸素濃度測定セルの出力に基づいて、少なくとも被検ガス中に含まれる水蒸気が分解し得る電流を前記第2酸素ポンピングセルに供給し、該電流に基づいて被検ガス中の特定ガス濃度を求めることを特徴とする被検ガス中の特定ガス濃度測定方法。
引用特許：
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